6月27日，截止午间收盘，半导体设备ETF（159516）跌1.34%，报0.810元，成交额3181.15万元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创截止午盘涨0.39%，中微公司跌1.05%，沪硅产业跌3.24%，拓荆科技跌1.09%，TCL科技涨0.23%，华海清科涨0.07%，雅克科技涨0.82%，石英股份跌2.00%，长川科技跌2.41%，南大光电跌3.10%。
半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为-17.94%，近一个月回报为6.17%。
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