7月29日，截止午间收盘，半导体设备ETF（159516）跌0.25%，报0.811元，成交额3903.84万元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创截止午盘涨1.53%，中微公司涨0.02%，沪硅产业跌0.47%，华海清科跌0.75%，雅克科技跌0.72%，拓荆科技跌1.60%，南大光电跌0.24%，立昂微跌0.66%，鼎龙股份涨2.33%，TCL科技跌0.26%。
半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为-18.86%，近一个月回报为-1.12%。
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