8月15日，截止午间收盘，半导体设备ETF（159516）涨0.76%，报0.796元，成交额4384.55万元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创截止午盘跌0.19%，中微公司涨0.39%，沪硅产业涨1.32%，华海清科跌0.71%，雅克科技涨0.76%，拓荆科技涨0.19%，南大光电涨1.59%，立昂微涨1.12%，鼎龙股份涨1.47%，TCL科技涨3.78%。
半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为-21.08%，近一个月回报为-3.56%。
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