8月21日，截止午间收盘，半导体设备ETF（159516）跌0.13%，报0.774元，成交额2165.47万元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创截止午盘涨0.24%，中微公司跌1.05%，沪硅产业跌0.33%，华海清科涨0.06%，雅克科技涨0.00%，拓荆科技跌0.52%，南大光电跌0.04%，立昂微跌1.91%，鼎龙股份涨0.21%，TCL科技涨0.78%。
半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为-22.49%，近一个月回报为-10.31%。
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