8月22日，截止午间收盘，半导体设备ETF（159516）跌1.56%，报0.759元，成交额2693.02万元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创截止午盘跌2.23%，中微公司跌2.78%，沪硅产业跌1.00%，华海清科跌0.82%，雅克科技跌1.31%，拓荆科技跌1.84%，南大光电跌0.73%，立昂微跌1.02%，鼎龙股份跌1.44%，TCL科技涨0.52%。
半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为-22.98%，近一个月回报为-10.88%。
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