8月28日，万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）收盘涨0.34%，成交额413.45万元。
半导体设备ETF基金（159327）成立于2024年7月24日，基金全称为万家中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为万家中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。半导体设备ETF基金（159327）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率。
规模方面，截止8月27日，半导体设备ETF基金（159327）最新份额为1.97亿份，最新规模为1.74亿元。
半导体设备ETF基金（159327）现任基金经理为贺方舟。贺方舟自2024年7月24日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益-11.58%。
最新定期报告显示，半导体设备ETF基金（159327）重仓股包括北方华创、中微公司、沪硅产业、华海清科、拓荆科技、雅克科技、南大光电、长川科技、立昂微、鼎龙股份，持仓占比如下。
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 002371 | 北方华创 | 1.59% | 1.48万 | 495.33万 |
| 688012 | 中微公司 | 1.53% | 3.31万 | 477.77万 |
| 688126 | 沪硅产业 | 0.61% | 13.01万 | 191.12万 |
| 688120 | 华海清科 | 0.48% | 1.11万 | 148.35万 |
| 688072 | 拓荆科技 | 0.43% | 1.10万 | 134.64万 |
| 002409 | 雅克科技 | 0.41% | 2.25万 | 128.90万 |
| 300346 | 南大光电 | 0.39% | 4.29万 | 120.55万 |
| 300604 | 长川科技 | 0.30% | 2.97万 | 93.56万 |
| 605358 | 立昂微 | 0.30% | 4.24万 | 94.13万 |
| 300054 | 鼎龙股份 | 0.27% | 4.07万 | 84.86万 |
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