8月29日，截止午间收盘，半导体设备ETF（159516）涨1.74%，报0.762元，成交额3890.90万元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创截止午盘涨1.78%，中微公司涨2.25%，沪硅产业涨1.07%，华海清科涨3.85%，雅克科技涨3.20%，拓荆科技涨0.63%，南大光电涨1.55%，立昂微涨5.21%，鼎龙股份涨1.47%，TCL科技涨3.46%。
半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为-25.23%，近一个月回报为-7.85%。
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