12月24日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）收盘涨1.23%，成交额1.11亿元。
半导体设备ETF（159516）成立于2023年7月19日，基金全称为国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为国泰中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率。
规模方面，截止12月23日，半导体设备ETF（159516）最新份额为16.60亿份，最新规模为17.46亿元。回顾2023年12月29日，半导体设备ETF（159516）份额为9.57亿份，规模为8.69亿元。即该基金今年以来份额增加73.49%，规模增加101.00%。
流动性方面，截止12月24日，半导体设备ETF（159516）近20个交易日累计成交金额34.91亿元，日均成交金额1.75亿元；今年以来，237个交易日，累计成交金额235.05亿元，日均成交金额9917.56万元。
半导体设备ETF（159516）现任基金经理为艾小军。艾小军自2023年7月19日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益5.20%。
最新定期报告显示，半导体设备ETF（159516）重仓股包括中微公司、北方华创、沪硅产业、华海清科、拓荆科技、南大光电、雅克科技、长川科技、芯源微、立昂微，持仓占比如下。
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 688012 | 中微公司 | 15.03% | 89.55万 | 1.47亿 |
| 002371 | 北方华创 | 14.99% | 40.01万 | 1.46亿 |
| 688126 | 沪硅产业 | 6.84% | 351.87万 | 6678.54万 |
| 688120 | 华海清科 | 5.02% | 30.32万 | 4907.95万 |
| 688072 | 拓荆科技 | 4.38% | 29.71万 | 4278.33万 |
| 300346 | 南大光电 | 4.20% | 115.97万 | 4099.69万 |
| 002409 | 雅克科技 | 3.83% | 60.96万 | 3741.72万 |
| 300604 | 长川科技 | 3.13% | 80.56万 | 3054.14万 |
| 688037 | 芯源微 | 2.90% | 34.18万 | 2832.19万 |
| 605358 | 立昂微 | 2.84% | 114.64万 | 2773.23万 |
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